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| アークイオンプレーティング |
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| アークイオンプレーティングでは、真空チャンバー内で電極と正電圧を加えられたターゲット(アークカソード)の間にアークを発生させます。そして、そのアークを起点に、ターゲットを高イオン化し、チャンバー内で窒素やエチレンといったガスと反応させて基板上に窒化物、カーバイド、炭窒化物を形成します。スパッタリングよりも成膜レートが高く、ハードコーティング、トライボコーティング、装飾コーティングにおける標準的なプロセスとなっています。 |
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製品例：
- 高融点金属（Crやその他合金）
- アルミニウム合金（ TiAl, AlCr その他各種組成）
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製品リンク
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