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プランゼーグループ

抵抗加熱蒸着

電気抵抗加熱による真空蒸着技術は、さまざまな膜の形成に用いられます。光学、耐摩擦、装飾、反射、導電、そして各種機能膜。蒸発源の素材には導電性とともに高温環境における低い蒸気圧、および高い融点を必要とします。
プランゼーのタングステン、モリブデン、タンタルはその要求を理想的に満たし、その高いパフォーマンスは長年の実績により証明されています。

製品リンク

ポートタイプ
さまざまな材質、形状により幅広い用途に対応。

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フィラメントタイプ
蒸発材料の形状に応じた製品を選択できます。

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チムニータイプ
SiO用の蒸発源です。

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