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| イオン注入 |
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マイクロエレクトロニクス部品や薄膜トランジスタ製造で、イオン注入はシリコンウエーハプロセスにおけるドーピング工程のキーテクノロジです。プランゼーはイオン注入装置のソースからビームラインまで対応しております。 |
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尚、我々の技術能力及びイオン注入プロセスに関する深い知識をベースとして、顧客ニーズに合わせた装置向け改造提案及びソリューション（Plansee Advanced Standard）を提供致します。
プランゼー製品例：
- モリブデン、タングステン、タンタル製アークチャンバー、フロントスリット
- タングステン製フィラメント、カソード、リペラ
- モリブデン、タングステン、グラファイト製エレクトロード
- グラファイト製ビームラインパーツ
- モリブデン、タングステン、タンタル製ピン、ガスチューブ、スクリューなど
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